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Présentation


La salle blanche, implantée dans le bâtiment Condorcet du campus de l’Université Paris Diderot, est un projet porté par le laboratoire MPQ.

C’est une salle blanche de proximité qui vient compléter la cohérence scientifique du laboratoire autour des Matériaux et Phénomènes Quantiques, elle offre des conditions d’études et de recherche optimales aux étudiants, doctorants et chercheurs de l’Université.

Cette installation est labellisée par l’ANR et est intégrée dans un consortium de salles blanches, créé à l’initiative du CNRS, appelé Centrale de proximité de Paris Centre. Ce consortium regroupe cinq entités de recherche : l’ENS, l’ESPCI, l’Université Pierre et Marie Curie, l’Université Paris Diderot et l’Observatoire de Paris.

Une salle blanche se caractérise par sa concentration contrôlée de particules de poussiere en suspension dans l’air, afin de minimiser l’introduction, la génération, ainsi que la rétention de particules. Les paramètres tels que la température, l’humidité et la pression relative sont également surveilles.
Ici, la température est maintenue à 20°C, avec 50% d’humidité.

Cette plateforme de 150m² est une zone à empoussièrement controlée certifiée ISO7 (anciennement classe 10000). Elle présente tous les équipements nécessaires pour réaliser des micro nano dispositifs électroniques et optroniques : nettoyage, lithographie, gravure humide et sèche, dépôt métallique et diélectrique.

Pour plus d’information vous pouvez visionner le film "Une salle blanche à Paris Diderot"

PDF - 442.4 ko
Plan de la salle blanche
Zone Dépot
Zone Gravure
Zone Lithographie
JPG - 555.3 ko

JPG - 543 ko

JPG - 483.5 ko

© CNRS Photothèque / Cyril Frésillon



Contacts :
Phillipe Lafarge, Enseignant chercheur
Pascal Filloux , Ingénieur de recherche
Christophe Manquest , Ingénieur d’étude
Stéphan Suffit, Ingénieur d’étude




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